设备类型（按品种）：金牌平台官网 、标准机
产品类型（按行业）：晶圆、光学、硬盘
设备概要：CO2高压喷淋精密清洗
产品：4,6,8英寸不同的晶圆
功能：日和研究开发的特殊喷头，结合产品的要求，X射线除静电，防止结露等保证产品洁净度同时，不对产品造成损伤，自动取放料，洁净度达到0.5~5μ微颗粒数量控制在3-10颗之内
联系人：崔经理
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